超纯水是指水质非常纯净，几乎不含任何杂质的水，其指标参数主要包括以下几项：

电阻率：超纯水的电阻率极高，接近于超纯度物质，一般大于18MΩ·cm（25℃）。

细菌含量：超纯水中细菌含量极低，通常小于1CFU/mL。

颗粒物：超纯水中不含任何颗粒物，透光率极高。

离子含量：超纯水中的离子含量极低，如钠离子、氯离子、硫酸根离子等均小于1ppb。

氧化还原电位：超纯水的氧化还原电位较低，一般在-200mV以下。

微量有机物和痕量无机物：超纯水中不含任何微量有机物和痕量无机物，保证了水的纯度。

水质稳定性：超纯水的水质稳定性极高，不易受外界环境的影响。

超纯水在科研、制药、电子等领域应用广泛，需要严格控制其指标参数以保证水的纯度。