整机大约180吨。

荷兰阿斯麦的新一代极紫外光刻机单台大小堪比一辆公共汽车。在机器内部的零部件数量多达10万个，整个设备所需要用到的电缆更是长达两公里。如果要运送的话，一台新款极紫外光刻机就需要40个集装箱，用三架货机或者二十辆卡车运输。荷兰阿斯麦尔光刻机最大重量达到180吨。