表面粗糙度和平面度是两个不同的概念，它们之间没有特殊的关系。

表面粗糙度是加工表面具有的较小间距和微小峰谷的不平度，属于微观几何形状误差。表面粗糙度越小，则表面越光滑。

平面度是基片的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差，属于形位误差中的形状误差。

粗糙度是针对所有面,而平面度只对平面，例如:一个曲面,它的粗糙度虽然很低,表面很光洁,但其平面度却很差。粗糙度是指材料表面微观区间的表面状况，粗糙度低只能代表此点的微观尺寸波动较小，而此点所在的平面有可能很平整，也有可能是按一平滑曲线扭曲变形的。一般可以用粗糙度仪和显微镜等设备进行检测。

而平面度是形位公差，用天准的CMU三坐标测平面度可以自动进行平面度误差计算与分析，测量前可在测量软件中设定公差值，当测量结果不在平面度公差带时，超差数据红色色显示。